金属四探头电阻率方阻测试仪 - HS-MPRT-5
本仪器用来测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器.本仪器按照半导体材料电阻率的及国家标准测试方法有关规定设计。 它主要由电器测量部份(主机)及四探头组成,需要时可加配测试架。 为减小体积,本仪器用同一块数字表测量电流及阻率。样品测试电流由高精宽的恒流源提供,随时可进行校准,以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分选材料也可以用来作产品检测。对1~100Ω·cm标准样片的测量偏差不超过±3%,在此范围内达到国家标准一级机的水平。
金属四探头电阻率方阻测试仪- 产品特点
■ 采用金属探头,游移率小,稳定性高。
■ 仪器采用220V交流电源供电
■ 适用于西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的企业”
■ 适用于物理提纯生产多晶硅料生产企业
■ 适用于光伏拉晶铸锭及 IC 半导体器件企业
■ 具有抗强磁场和抗高频设备的性能
金属四探头电阻率方阻测试仪- 技术指标
■ 电阻率:0.01~199.9Ω·cm
■ 方块电阻:0.1~1999Ω/口
■ 直流数字电压表 测量范围:0~199.9mv
灵敏度:100μv
准确度:0.2%(±2个字)
■ 电源: AC 220V ± 10% , 50HZ
■ 功耗:zui大功耗 ≤10W ,平均功耗≈ 8W
金属四探头电阻率方阻测试仪- 典型客户
江苏、浙江、广东、湖南湖北、内蒙古、河南等地的CZ直拉单晶及铸锭客户。
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北京合能阳光新能源技术有限公司
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