| 氮化硅 ■氮化硅分子式为Ｓi3Ｎ4，是一种重要的结构陶瓷材料。 ■它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损； ■涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层， ■涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后zui终保证硅碇脱膜完整性。 ■技术指标 | Items | Value | Items | Value | | Spefice Surface Area（m2/g） | 9.8-13 | Green Density（g/cm3） | 1.7-1.9 | | N（wt%） | >38.0 | Fe（wt%） | <0.008 | | O（wt%） | <1.5 | Ca（wt%） | <0.01 | | C（wt%） | <0.2 | Al（wt%） | <0.08 | | Na（wt%） | <0.001 | Ni（wt%） | <0.001 | | Mo（wt%） | <0.001 | Mg（wt%） | <0.001 | | Cr（wt%） | <0.001 | Co（wt%） | <0.001 | | K（wt%） | <0.001 | Mn（wt%） | <0.001 | | Partical Size（lazer）D90（μm） | 1.1-1.5 | Partical Size（lazer）D50（μm） | 0.5-0.7 | | Partical Size（lazer）D10（μm） | 0.2-0.4 | | | | |
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