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激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是高精度、高灵敏度的测量仪器,在制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉测量仪配备的EC20环境补偿单元,由环境补偿主机(内置湿度传感器和气压传感器)、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成,可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。
以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
导轨直线度检测
对机床精度再校准
SJ6000激光干涉测量仪除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。
(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;
(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
(6)支持手动或自动进行环境补偿。
(1)友好的人机界面;
(2)丰富的应用功能模块;
(3)向导式的操作流程;
(4)简洁化的记录管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企业专属模板定制。
主机 | |
稳频精度 | 0.05ppm |
动态采集频率 | 50 kHz |
预热时间 | ≤ 6分钟 |
工作温度范围 | (0~40)℃ |
存储温度范围 | (-20~70)℃ |
环境湿度 | (0~95)%RH |
环境补偿单元 | |
空气温度传感器 | ±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃ |
材料温度传感器 | ±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃ |
空气湿度传感器 | ±6%RH (0~95)%RH |
大气压力传感器 | ±0.1kPa (65~115)kPa |
线性测量 | |
测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
测量分辨力 | 1nm |
测量速度 | 4m/s |