中图激光干涉仪sj6000配备的EC20环境补偿单元，由环境补偿主机（内置湿度传感器和气压传感器）、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成，可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。仪器集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。

中图激光干涉仪sj6000系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

功能广

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

导轨直线度检测

检定测长机

技术规格

软件强

（1）友好的人机界面；

（2）丰富的应用功能模块；

（3）向导式的操作流程；

（4）简洁化的记录管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企业专属模板定制。