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¥52000haradacorpVUV真空紫外线电离器 光照射型 L12542
haradacorpVUV真空紫外线电离器 光照射型 L12542
光照射型
使用光电离的静电消除器
VUV(真空紫外线)电离器 L12542
减压静电消除技术
VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解决半导体、FDP 等制造过程中惰性气体或减压环境中的静电问题的静电消除系统。与光照射型光电离子发生器一样,不存在电极产生灰尘的问题,可以实现干净的静电消除。
特征
(1) 减压下的最大效果
由于压力降低时离子的平均自由程变长,因此静电消除性能进一步增强。
(2) 剩余电位为0V
由于正负离子和电势在空间均匀分布,所以被除静电物体的残余电势为0V。
(3) 无气流依赖性
在紫外线照射法中,由于气体在宽范围内被离子化,因此无论气体的流动状态如何,都可以获得稳定的静电消除性能。
(4) 无电磁噪音
由于使用紫外线照射的电离系统,不会产生电磁噪声。
(5) 适用于任何制造设备
该系统仅由三点组成:氘灯、电源装置和法兰。易于连接到制造设备和运输隧道。
(6) 免维护
无需离子平衡调整等日常维护。只有氘灯需要更换。
VUV离子发生器L12542基本规格 | ||
光源(氘灯) | ||
方法 | 真空UV照射法 | |
尺寸 | 60φ×160L(视窗直径26φ) | |
光源 | 真空紫外氘灯 | |
辐射紫外线波长范围 | 115nm 至 400nm | |
冷却方式 | 风扇强制风冷 | |
窗料 | 窗口材料 MgF2 | |
大量的 | 530克 | |
电源(动力装置) | ||
尺寸 | 117W×90H×200D | |
冷却方式 | 风扇强制风冷 | |
电源(AC)/功耗 | 100-240V 50/60Hz 90VA | |
大量的 | 1.8公斤 |
光离子化系统“Photoionizer”使用清洁离子生成方法“Photoionization”。与传统的电晕放电方法不同,我们实现了不会产生“灰尘、电磁噪声或臭氧”的清洁静电消除。此外,由于离子生成平衡,因此不会发生反向充电。由于带电物体附近的分子被电离以消除静电,因此消除静电的效率,可以瞬间消除高速运动物体和粉末的静电,这在以前是困难的。是从“对象”、“速度”、“环境”、“可靠性”等方面解决静电消除问题的静电消除系统。
无需鼓风机
在弱X射线照射的整个范围内不断产生离子。由于带电物体附近产生的离子直接有助于静电消除,因此无需通过吹气来传送离子。也可以去除轻质部件和粉末的静电。
高离子浓度
在电晕放电型的情况下,电极附近的区域是产生离子的区域,而在弱X射线照射方法中,整个照射区域都是离子产生区域,这提高了静电消除的效率。静电消除时间也缩短了。
无反向充电
在弱X射线照射型中,同时产生等量的“正”离子和“负”离子,因此不会发生反向带电。如果产生的离子平衡不平衡,只有其中一个离子会继续大量存在,造成相反的电荷。没有像电晕放电型那样的“正”或“负”调整。
无需清洗电极
对于电晕放电型,灰尘会粘附在电极上并降低除电效果,因此需要经常清洁电极。光电离子发生器无需长时间维护,可保持较高的静电消除效果。
测量条件
充电电压:1 kV 至 100 V(无吹风,温度 26°C,相对湿度 50%)
充电板(150 x 150 mm,20 pF)