haradacorpVUV真空紫外线电离器 光照射型L10706

haradacorpVUV真空紫外线电离器 光照射型L10706

减压静电消除技术

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L10706 是可以解决半导体、FDP 等制造过程中惰性气体或减压环境中的静电问题的静电消除系统。与光照射型光电离子发生器一样，不存在电极产生灰尘的问题，可以实现干净的静电消除。此外，紧凑的光源和SUS软管增加了自由度，可以将其安装在设备的狭窄空间或靠近物体的地方。

特征

• (1) 可就近安装

• 采用紧凑型光源和 SUS 软管，增加了安装自由度。

• (2) 剩余电位为0V

• 由于正负离子和电势在空间均匀分布，所以被除静电物体的残余电势为0V。

• (3) 无气流依赖性

• 在紫外线照射法中，由于气体在宽范围内被离子化，因此无论气体的流动状态如何，都可以获得稳定的静电消除性能。

• (4) 无电磁噪音

• 由于使用紫外线照射的电离系统，不会产生电磁噪声。

• (6) 免维护

• 无需离子平衡调整等日常维护。只有氘灯需要更换。

光照射型

使用光电离的静电消除器

VUV（真空紫外线）电离器 L12542

减压静电消除技术

VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解决半导体、FDP 等制造过程中惰性气体或减压环境中的静电问题的静电消除系统。与光照射型光电离子发生器一样，不存在电极产生灰尘的问题，可以实现干净的静电消除。

特征

• (1) 减压下的最大效果

• 由于压力降低时离子的平均自由程变长，因此静电消除性能进一步增强。

• (2) 剩余电位为0V

• 由于正负离子和电势在空间均匀分布，所以被除静电物体的残余电势为0V。

• (3) 无气流依赖性

• 在紫外线照射法中，由于气体在宽范围内被离子化，因此无论气体的流动状态如何，都可以获得稳定的静电消除性能。

• (4) 无电磁噪音

• 由于使用紫外线照射的电离系统，不会产生电磁噪声。

• (5) 适用于任何制造设备

• 该系统仅由三点组成：氘灯、电源装置和法兰。易于连接到制造设备和运输隧道。

• (6) 免维护

• 无需离子平衡调整等日常维护。只有氘灯需要更换。

光离子化系统“Photoionizer”使用清洁离子生成方法“Photoionization”。与传统的电晕放电方法不同，我们实现了不会产生“灰尘、电磁噪声或臭氧”的清洁静电消除。此外，由于离子生成平衡，因此不会发生反向充电。由于带电物体附近的分子被电离以消除静电，因此消除静电的效率，可以瞬间消除高速运动物体和粉末的静电，这在以前是困难的。是从“对象”、“速度”、“环境”、“可靠性”等方面解决静电消除问题的静电消除系统。

无需鼓风机

在弱X射线照射的整个范围内不断产生离子。由于带电物体附近产生的离子直接有助于静电消除，因此无需通过吹气来传送离子。也可以去除轻质部件和粉末的静电。

高离子浓度

在电晕放电型的情况下，电极附近的区域是产生离子的区域，而在弱X射线照射方法中，整个照射区域都是离子产生区域，这提高了静电消除的效率。静电消除时间也缩短了。

无反向充电

在弱X射线照射型中，同时产生等量的“正”离子和“负”离子，因此不会发生反向带电。如果产生的离子平衡不平衡，只有其中一个离子会继续大量存在，造成相反的电荷。没有像电晕放电型那样的“正”或“负”调整。

无需清洗电极

对于电晕放电型，灰尘会粘附在电极上并降低除电效果，因此需要经常清洁电极。光电离子发生器无需长时间维护，可保持较高的静电消除效果。

测量条件

充电电压：1 kV 至 100 V（无吹风，温度 26°C，相对湿度 50%）
充电板（150 x 150 mm，20 pF）