日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪

SE-101日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪

参考价: 订货量:
550000 1000

具体成交价以合同协议为准
2023-04-07 09:00:38
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深圳九州工业品有限公司

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产品简介

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101
这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大⌀300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。

详细介绍

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101




这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大⌀300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。

规格

  • 测量

重复性
  • 膜厚:0.1nm
    折射率:0.001 *SiO2膜的一点(膜厚:约100nm)重复测量100次时的标准偏差值。

测量速度
  • 最大测量速度
    900 点/分钟以上(宽模式,测量 100 平方毫米面积时)
    5,000 点/分钟或以上(高清晰模式,测量 1 平方毫米面积时)

光源
  • 半导体激光器(振荡波长636nm)

测量点
  • 广域模式:0.5 平方毫米
    高清模式:5.5 微米平方

入射角
  • 70度

尺寸
(宽 x 深 x 高)
  • 270×337×最大631mm

兼容透明基材
  • 兼容 ME-210-T
    不兼容 ME-210


  • 住房

舞台尺寸
  • 支持最大 8 英寸晶圆
    (最大 ⌀300 mm 可选)

尺寸
(宽 x 深 x 高)
  • ME-210-T 650×650×1744mm
    ME-210 650×650×1740mm

重量
  • 约200公斤

界面
  • GigE(相机信号)


  • 其他的

界面
  • GigE(相机信号)

电源
  • AC100-240V

软件
  • ME-视图

配件
  • 台式电脑、显示器、使用说明书、标准样品



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