shinko-seiki阀门（真空阀) 泵  电磁阀SV-1S/SV-3S/SV-3L

shinko-seiki阀门（真空阀) 泵  电磁阀SV-1S/SV-3S/SV-3L

【常用规格】
・液压油为Neovac SX（SH-704）或Lion A
・液压油为DC-705时，极限压力为4×10 -6
Pa，功率 　增加20%~ 45%
・油蒸汽回流为7×10 -7至2×10 -8 g/min・cm 2以下

[特点]
・优秀的排气特性。
・操作简单，维护方便。
·长寿。
・小型、低振动。
・可以获得干净的真空。
- 使用安全的卧式。

【选择后级泵时】
机械增压泵不是可以压缩排气到大气压的泵。性能还取决于下游泵的型号和性能。因此，在配置使用机械增压泵的排气系统时，需要针对所需用途选择最合适的后级泵。

・选择排气量为1/2～1/10的泵。
　连续工作压力较高时
　选用大容量泵，连续工作压力较低时选用小容量泵。
・利用油旋泵和水环泵的性能特点，在高真空运行时采用油旋泵作为后级泵，在低真空抽大量可凝性气体时采用水泵。真空
　，请选择密封泵。

【结构】
两个平衡的茧形转子固定在两个平行轴上，由电动机驱动。
随着转子的旋转，从进气口进入的气体被限制在机壳与转子之间的空间内，并
通过排气口不断排出，有效地形成真空。・主要材质为铝等，实现了轻量化。
・ 采用磁力联轴器，可在大气压下运行，排气时间可缩短约50%。(DM型)

SMB-C06M型采用磁力耦合器，可从大气压驱动。

【结构】
两个平衡的茧形转子固定在两个平行轴上，由电动机驱动。
随着转子的旋转，从进气口进入的气体被限制在机壳与转子之间的空间内，并
通过排气口不断排出，有效地形成真空。・主要材质为铝等，实现了轻量化。
・ 采用磁力联轴器，可在大气压下运行，排气时间可缩短约50%。(DM型)

SMB-C06M型采用磁力耦合器，可从大气压驱动。