shinko-seiki升空工艺蒸发设备 沉积设备 蒸发颗粒设备AAMF-C1650SBR

shinko-seiki升空工艺蒸发设备 沉积设备 蒸发颗粒设备AAMF-C1650SBR

剥离工艺专用气相沉积设备，其应用范围正在扩大。
蒸发颗粒的高垂直度和基板水冷机制的采用保护了抗蚀剂并保持了精细的图案。

这是一种恒温皮拉尼真空计，利用灯丝丝在真空中因压力波动而产生的温度变化。该模型以其准确性和易用性而著称。有面板型和便携型。

【常用规格】
・液压油为Neovac SX（SH-704）或Lion A
・液压油为DC-705时，极限压力为4×10 -6
Pa，功率 　增加20%~ 45%
・油蒸汽回流为7×10 -7至2×10 -8 g/min・cm 2以下

[特点]
・优秀的排气特性。
・操作简单，维护方便。
·长寿。
・小型、低振动。
・可以获得干净的真空。
- 使用安全的卧式。

【选择后级泵时】
机械增压泵不是可以压缩排气到大气压的泵。性能还取决于下游泵的型号和性能。因此，在配置使用机械增压泵的排气系统时，需要针对所需用途选择最合适的后级泵。

・选择排气量为1/2～1/10的泵。
　连续工作压力较高时
　选用大容量泵，连续工作压力较低时选用小容量泵。
・利用油旋泵和水环泵的性能特点，在高真空运行时采用油旋泵作为后级泵，在低真空抽大量可凝性气体时采用水泵。真空
　，请选择密封泵。

【结构】
两个平衡的茧形转子固定在两个平行轴上，由电动机驱动。
随着转子的旋转，从进气口进入的气体被限制在机壳与转子之间的空间内，并
通过排气口不断排出，有效地形成真空。・主要材质为铝等，实现了轻量化。
・ 采用磁力联轴器，可在大气压下运行，排气时间可缩短约50%。(DM型)

SMB-C06M型采用磁力耦合器，可从大气压驱动。

【结构】
两个平衡的茧形转子固定在两个平行轴上，由电动机驱动。
随着转子的旋转，从进气口进入的气体被限制在机壳与转子之间的空间内，并
通过排气口不断排出，有效地形成真空。・主要材质为铝等，实现了轻量化。
・ 采用磁力联轴器，可在大气压下运行，排气时间可缩短约50%。(DM型)

SMB-C06M型采用磁力耦合器，可从大气压驱动。