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ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10
ulvac-kiko多级罗茨型干泵 真空泵 干泵ES4A/ES10
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
| 型号 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 机械增压泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排气速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1.0~ 大气压 Pa | ||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排气口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 质量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 电源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 电流值 | 稳定时 | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷却水一次压力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷却水出入口压差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹扫气 | 一次压力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次压力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹扫 | 轴 | 5 SLM | |||||||
| 气镇 | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
