ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪YTP70A

特点

• 考虑到在台面上使用的环境，
  降低了运转时的噪音、振动。

• 低噪音
  运转声音在43dB以下，十分安静。（空载运行时。ICF法兰型。本公司测定。）]

• 小型、轻量设计

• 出色的操作性
  配备触摸屏，提高了操作性。

• 无需真空计专用显示机
  可以读取真空计的信号并显示在操作屏幕上。最多可连接两个真空计。

• 适用标准
  CE、cTUVus

• 操作性
  通过简单易懂的显示图标，可简单的操作

• 系统比两级排气系统更快。

• 具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。

• 大气压下可以运作。

用途

• 真空吸盘，晶圆和处理设备。

• 真空镊子，医疗器械。

• 印刷设备。

• 自动包装机。

• 光学器具。

• 半导体行业。

• 注塑机。

膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计

特点

• 价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。

• 气体接触区域不使用油的干式真空泵。

• 丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。

• 两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。

• 内置自动复位型热保护器等安全设计。

• 大气压力下可运作。

• 结构简单，维护方便。

• Unit	50Hz	60Hz
  有效排气速度	L/min	120	145
  极限压力	Pa (kPa)	3.3×10 3 （-98.0）
  使用电动机		単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run
  全负荷电流	A	4.8	5.8
  重量	kg	26.0
  吸・排气口径	mm	ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2)
  使用环境温度范围	℃	0～40
  最大尺寸	mm	193.5(W)×411(L)×285(H)

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪YTP70A