ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪

VTS-350M/Xulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪

参考价: 订货量:
￥ 660000 1000台

具体成交价以合同协议为准
2023-04-11 14:24:43
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产品简介

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X
管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。
特点

详细介绍

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X

ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元 离子溅射仪VTS-350M/X


管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。

特点

  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。

  • 使用三通阀，组件更少，维修更容易。

  • 真空计等配件可以安装在同一个架台上。

  • 空冷型，不需要冷却水。

  • 带有轮子，易于移动。

  • 配有调节器，可以确保安装的安全性。

规格

　型号VPC-053
极限压力
7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮时）
主泵
油扩散泵（空冷）　50 L/sec
辅助泵
油回转真空泵　20 L/min
メイン阀门
25A蝶阀
辅助阀门
三通阀
吸气口
VG-25
重量
20kg
最大尺寸　（W×D×H）
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)





















管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、适合用于实验。

特点

  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。

  • 使用三通阀，组件更少，维修更容易。

  • 真空计等配件可以安装在同一个架台上。

  • 空冷型，不需要冷却水。

  • 带有轮子，易于移动。

  • 配有调节器，可以确保安装的安全性。

规格

　型号VPC-053
极限压力
7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮时）
主泵
油扩散泵（空冷）　50 L/sec
辅助泵
油回转真空泵　20 L/min
メイン阀门
25A蝶阀
辅助阀门
三通阀
吸气口
VG-25
重量
20kg
最大尺寸　（W×D×H）
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)


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