特点

• 优异的膜厚和速率分辨率（0.0022A）使其成为低速蒸发成膜控制的理想选择。

• 可以同时控制4个蒸发源。 （添加选项时）

• 可实现多层膜厚控制，最多可达99层。

• 程序可以保存到USB中。

• 通过使用多层计算功能（MLC功能）对于在石英板上的多层成膜，可以精确地测量膜厚度。

用途

蒸发时的膜厚及速率控制

特点

• 高速測定：

  独的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

• 适用于可见光谱：

  波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

• 紧凑型传感器单元：

  光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

• 丰富的产品阵容：

  产品阵容应用广泛，包括如独的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

用途

• 透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量