showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板

SPEshowashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板

参考价: 订货量:
￥ 660000 1000台

具体成交价以合同协议为准
2023-04-11 15:13:14
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产品简介

showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板SPE
真空室主要是配备运输机器人的运输室，由蚀刻室和盒室三个房间组成。
真空室材料由A5052制成，A5052对运输室，蚀刻室和盒室都进行了脱脂处理。

详细介绍

showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板SPE

showashinku盒对盒式干法蚀刻装置 溅射和离子板SPE

特征
1.紧凑型设备
尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH）
2.单晶圆系统，生产率高，是批量生产的理想选择
3.加工质量高

･单晶圆类型确保高蚀刻均匀性。

･背面采用非接触式气冷系统，不会损坏基板背面
4.采用高真空排气装置
5.高可维护性

･真空室的小型化便于维护
6.由于设备外形紧凑，安装位置没有限制
1.设备配置

真空室主要是配备运输机器人的运输室，由蚀刻室和盒室三个房间组成。
真空室材料由A5052制成，A5052对运输室，蚀刻室和盒室都进行了脱脂处理。
2.排气系统

涡轮分子泵1套（蚀刻室）
旋转泵2套（蚀刻室、盒式室和运输室组合）
3.性能

极限压力2.7×10-3Pa以下（蚀刻室）
排气时间3分钟内至0.10×2-2Pa（蚀刻室）
蚀刻深度65nm *配对BK7玻璃（使用φ3英寸或φ4英寸基板时）
蚀刻分布±5%以内 *保修区域：50×50mm以下
循环时间300秒（24张/ 1盒，φ3或φ4英寸板）*参考值
4.供电系统

射频电源最大 500W （13.56兆赫）
匹配盒全自动匹配规格
5.气体引入系统

CF/SF、氦、O2 质量流量控制器 3
6.控制系统

使用定序器可以进行全自动操作。
处理的基板数量始终显示在触摸屏上，并且可以从最新的开始检查错误历史记录。
7.外部尺寸

设备本体 1000mmW×1100mmD×1600mmH
设备重量 1000Kg
8.公用事业

电力200V 3φ 50/60Hz 12KVA
冷却水ー
压缩空气0.5兆帕 20升/分钟
N2气体0.3兆帕 60升/分钟




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