超高真空排氨装置

述

VPU-03S是一种真空排气系统，采用2台吸附泵作为初始排气(粗放排气)，采用溅射离子泵作为主泵。通过使用本装置，可形成板状干燥的制作球界(可无人运转)。另外，在需要动态排气时，可与涡轮分子泵组合使用规格

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