otsukael光谱干涉式晶圆测厚仪SF-3的介绍

otsukael光谱干涉式晶圆测厚仪SF-3的介绍

OPTM 是一种通过使用显微镜光谱测量微小区域的绝对反射率来实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的设备。

各种薄膜、晶圆、光学材料等镀膜、多层膜厚度的无损、非接触测量。可以进行1秒/点的高速测量。此外，它配备了软件，即使是初次使用的用户也可以轻松分析光学常数。。

• 膜厚测量所需的功能集成在测量头中

• 使用显微光谱法进行高精度绝对反射率测量（多层膜厚度、光学常数）

• 每点1秒以内的高速测量

• 实现显微镜下宽测量波长范围（紫外到近红外）的光学系统

• 区域传感器安全机制

• 一个简单的分析向导，即使是初次使用的用户也可以进行光学常数分析

• 配备可自定义测量顺序的宏功能

• 也可以分析复杂的光学常数（多点分析法）

• 300mm载物台兼容

能够从低亮度到高亮度进行高速、高精度测量的光谱辐射亮度计。
使用电子冷却线性阵列传感器，的光谱设计和信号处理电路在宽亮度范围和波长范围内实现了低噪声、高精度测量。

• 采用亮度和色度精度高的分光法（衍射光栅）
• 能够测量从0.005cd/m2的超低亮度^{到400,000cd/ m2的高亮度}
• 支持 CIE 推荐的宽波长范围（355nm 至 835nm）
• 专有光学系统减少了偏光误差 (<1%)，
  可以高精度测量具有偏光特性的样品，例如 LCD。
• 包括通信时间在内，仅需 1 秒即可进行高速测量。
  （在连续测量的情况下，最小为 20 毫秒/次，甚至可以更快地测量。）
• 无需改变测量角度即可支持宽亮度范围。^{（0.005cd/m 2}至 4,000cd/m ²
  在2°的测量角度）
• 可以对频率照明光源进行高精度和稳定的测量。

• LCD、PDP、有机EL、大尺寸LED视觉等显示器件的
  光谱数据、亮度、色度、相关色温测量

• 照明光源（如灯）的光谱数据、亮度、色度和相关色温的测量

• 作为各种亮度和色度测量仪器的标准

• 物体的非接触式颜色测量