• 节省空间，使用个人电脑轻松操作和数据处理

• 非接触式涡流法可实现无损伤测量

• 探头可拆卸和更换，因此每个量程的探头都可以轻松更换。

• （*可选用于第二个和后续电阻探头）

• 1 中心点测量

• 厚度和温度修正功能（硅晶圆）

半导体/太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
 新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
 导电薄膜（金属、ITO等）
 硅基外延、 ion Injection sample
 化合物半导体相关（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
 其他（*请联系我们）

3 至 8 英寸，~156 x 156 毫米
（可选；2 英寸或 12 英寸，~210 x 210 毫米）

[电阻率] 1m 至 200 Ω・cm
（*所有探头类型的总范围/当厚度为 500um 时）
[薄层电阻] 10m 至 3k Ω/sq
（*所有探头类型的总范围）

• 只需触摸手持探头即可测量电阻

• 在电阻率/薄层电阻测量模式之间轻松切换

• 通过 JOG 拨盘轻松设置测量条件

• 可互换连接器连接的电阻测量探头支持各种电阻

• （电阻探头：最多可使用2+PN判断探头）

测量规格

测量对象

测量尺寸

测量范围