himax紫外线照射装置 UV灯 汞灯UH102 & UH104的介绍

himax紫外线照射装置 UV灯 汞灯UH102 & UH104的介绍

该设备去除有机化合物污渍，主要是油性污染物。
湿式清洁去除灰尘和污垢后，使用本设备作为画龙点睛，
清洁效果更佳。

环保，环保清洁剂

144AX 型从平面汞灯发出紫外线。
该照射能量和产生的臭氧用于分解和氧化有机化合物以去除污垢。
它不会因热量或摩擦而损坏工作表面，并有效清洁。无需担心污垢和灰尘的再沉积，或有机化合物的污染。

比湿洗具有更高的去污力

该设备拥有比湿式清洁更有效的清洁能力。（*参照下级处理条件表。）
如果在用超纯水冲洗前加上轻微清洁，可以去除油基污染膜，也可以通过冲洗去除细小的附着灰尘。

【什么是接触角？]

将试剂水滴在清洁过的表面上并评估湿度。在紫外线照射约 30 至 60 秒后，接触角显着下降。
4度的接触角意味着有机化合物膜小于单个分子。

除了半导体领域，它还可以应用于各种清洁应用。

■ 可用于电子材料、液晶、汽车、家电、ETC等。

■ 陶瓷基板、液晶玻璃、阴极射线管、磁头、铬膜等的附着力提高和表面改性。

■ 硅片、 GaSa晶圆、透镜、镜子、太阳 电池面板等的

清洗、密合性的提高 ■ 切割胶带密合性的降低（*部分类型的密合性得到改善。）

■ 抗蚀剂硬化、结冰、残留物去除的促进

■ FPD/PDP的清扫

■ 增加wafer氧化层

■ EPROM和存储器的中和

■ 各种材料的清洗、附着力改善、氧化增强、固化等■ 生化

灭菌等

可选功能

■ Suprasil UV Lamp（合成石英玻璃紫外灯）
　　　短片的透过率波长184.9nm的紫外线对于标准灯来说是65%，但是这款灯
　　　将90%的臭氧产生率提高了一倍，并且缩短了清洗时间。

■ 臭氧消除装置适用于希望避免排气管排放臭氧的人员（

与排气装置组合使用）。
　　　与臭氧消除器组合使用时，无需担心臭氧气味。

■ 多种托盘尺寸可供选择。（单位：mm）（参考下方托盘尺寸表。）

■ 紫外线照度计输入：AC100V 12A