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¥3000shuwaind晶圆贴片机KBM-100的介绍
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立式平面磨床 SGM-8000 是一种可以轻松快速地高精度磨削难切削材料(蓝宝石、SiC、GaN 等)的设备。砂轮轴承与工件轴承垂直排列,各轴承旋转,砂轮轴承进给到工件轴承一侧进行磨削。此时,砂轮轴承往复摆动(新机构),可将脆性材料基板磨削成薄片且损伤小。最大加工直径为Φ300,可批量加工,生产率高。
摇摆机构
在砂轮轴承来回摆动的同时进行磨削。此时,磨削应力在横向上得到缓和,加工变质层变浅,可以进行损伤小的磨削,可以将基板加工得更薄。
过载感应系统
如果在磨削过程中施加超过设定值的载荷,进给会倒退,暂时释放磨石和工件上的应力,重新开始进给。该系统可防止工件承受强应力,从而实现磨削时损伤较小。
间歇供料系统
在重复进给和间隔的同时进行磨削。它去除间隔之间的切屑,冷却金刚石砂轮,降低磨削应力,从而可以轻柔地磨削工件。
零接触系统
该装置检测砂轮与工件接触的位置,并自动设定原点位置。
振荡
当磨削进行到目标尺寸值时,磨石在不超过设定值的范围内上下摆动。可以获得更高的平面度和均匀的表面粗糙度。
自动测量系统
工件厚度在加工过程中自动测量,剩余磨削量由设备根据该数据自行计算,并再次磨削。研磨可全自动完成。无需在设备外测量工件厚度,可减少工序人工。