日本samco紫外线臭氧清洗机 UV-1

概述：

该装置是一种UV臭氧清洗机，可以对各种半导体工艺进行干燥处理。可以进行有机物去除和表面改性，例如光刻胶灰化以及硅和蓝宝石晶圆清洗。配备紫外线灯、臭氧发生器和加热台，紫外线照射、臭氧和热量之间的相互作用可以实现高效的清洁和表面改性，而不会对基材造成电气损坏。

特征：

-由于同时使用紫外线 (UV)、高浓度臭氧 (O₃) 和载物台加热器的热量，因此可以实现高效清洁。

-离子或电子不会对元件造成损坏。

-由于配备了使用非贵金属催化剂的臭氧分解器，因此不需要臭氧处理设备。

-由于大气压处理，不需要真空系统。

日本samco紫外线臭氧清洗机 UV-1

概述：

该装置是一种UV臭氧清洗机，可以对各种半导体工艺进行干燥处理。可以进行有机物去除和表面改性，例如光刻胶灰化以及硅和蓝宝石晶圆清洗。配备紫外线灯、臭氧发生器和加热台，紫外线照射、臭氧和热量之间的相互作用可以实现高效的清洁和表面改性，而不会对基材造成电气损坏。

特征：

-由于同时使用紫外线 (UV)、高浓度臭氧 (O₃) 和载物台加热器的热量，因此可以实现高效清洁。

-离子或电子不会对元件造成损坏。

-由于配备了使用非贵金属催化剂的臭氧分解器，因此不需要臭氧处理设备。

-由于大气压处理，不需要真空系统。