日本JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA分辨率测试卡详细介绍：

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡是一款采用最新半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡。

RC-05B 分辨率测试卡用于校准和监控系统分辨率，确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米（3 µ m至50 µ m）的分辨率。这对应于6微米和100微米（6 µ m和100 µ m）之间的焦斑尺寸。

16组I&T布局，2x2 mm，8x8 mm硅基，如上图

下图为尺寸为5 μm I&T的图像

Au Slit的数量为3行和2个空格

宽度3至10 μm：T形布局

宽度15至50 μm：I形布局L/S宽度

L/S宽度：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm