KT-Z5KQX-桌面大容积等离子清洗机等离子体表面处理仪-郑州科探仪器设备有限公司手机版

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桌面大容积等离子清洗机

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性

桌面大容积等离子清洗机KT-Z5KQX

供电电源	AC220V（AC110V可选)
工作电流	整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率	500W可调
射频频率	40kHz
耦合方式	电容耦合
真空度	≤30Pa
腔体容积	5L(内径 152mmX 深度 280mm)
载物规格	125mmX260mm
气体流量	0—50ml/min（其他量程可选）
气体路数	2 路质量流量计+精密流量控制阀
过程控制	自动控制
清洗时间	手动开关
开盖方式	铰链侧开式法兰
真空室温度	小于65°C
外形尺寸	450x450x250mm
冷却方式	强制风冷
标配	KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台

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