臭氧电源系统包括电源控制系统、整流、变频器、升压变压器，它的作用就是向臭氧放电室提供必要条件—高压交变电场，而臭氧产生效率与高压电源成正向增长关系，因此臭氧电源系统在整个臭氧发生系统中具有重要的作用。臭氧电源系统依据高压放电频率可分为工频、中频、高频三类，其中频率为 60/50Hz 的电源称为工频电源，频率超过 1000Hz 的电源称为高频电源，介于工频与高频之间的称为中频。

1、工频的工作原理：交流 380V 电压经高压变压器后，变压器输出交流 10000V 电压供给臭氧合成系统。
工频需要漏感很大的高压变压器、效率低、耗电大、产生臭氧的产量与浓度低；一般采用玻璃管作放电介电体，用于生产中、大型臭氧发生器。

2、中频
中频的电路结构图，此电源是根据介质和臭氧放电室而设计的与之相匹配的高压电源，其中可控硅属大功率器件，工作压降低，过载特性好，输出功率大，用于中频大功率电源时的性能比较高，能很好地满足臭氧发生器对电源的需要。

3、高频的工作原理：工业配电经整流后，通过变频工艺使电源频率在 1000Hz 以上，变频后再次通过整流使电源变为交流电源（此过程称为逆变），zui后经高压变压器升压供给臭氧合成系统。高频具有效率高、耗电小、产生臭氧的产量与浓度高等特点，一般采用搪瓷或陶瓷片作放电介电体，用于生产小型臭氧发生器及家用消毒机。