离子溅射仪

离子溅射仪

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具体成交价以合同协议为准
2023-07-01 18:00:24
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东莞华雅检测仪器有限公司

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产品简介

SD-900型离子溅射仪是采用二级（DC）直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备

详细介绍

SD-900型离子溅射仪是采用二级（DC）直流溅射原理设计而成的离子溅射镀膜设备。二极（DC）直流溅射是一种、可靠、经济的镀膜技术，是许多厂商提供的离子溅射仪的基础。

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V技术规格说明

样品仓尺寸

  φ150mm  h120mm

样品台

  可放置1 2 个标准SEM样品座，高度可在
  30mm内调节

上部电极     

  靶直径5 0 mm，厚度0 .1mm

溅射控制

  电流5 0mA

溅射面积

  φ5 0mm

真空度

  ≤4×10-2mbar

靶材

  金靶、银靶、 铂靶

溅射速率

  优于5nm/min (金靶）

工作电压

  220V, 50HZ

输出电压

  -1600V


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