高校实验室一英寸真空高低温光电测试探针台

技术参数； 真空腔体 型号 KT-0904T-RL 高低温型 KT-0904T-R 高温型 类型 加热型 400℃ 加热制冷型室温到-190℃~400℃ 腔体材质 304 不锈钢 腔体内尺寸 φ90x40mm 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） 腔体抽气口 KF16 腔体进气口 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体出气口 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5 分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30 分钟） 样品台 样品台材质 304 不锈钢 样品台尺寸 26X26mm 样品台-视窗 距离 30mm（可选凹视窗间距 15mm） 样品台测温传感器 A 级 PT100 铂电阻 样品台温度 室温到 400℃（可选高低温样品台 高温 400℃低温-190℃） 样品台测温误差 ±0.2℃ 样品台变温速率 高温 10℃/min 低温 5℃/min 值

高校实验室一英寸真空高低温光电测试探针台

高校实验室一英寸真空高低温光电测试探针台

探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测

量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

该探针台的承载台为 26X26mm 不锈钢台面，台面可升温到 400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针

臂为 X/Y/Z 三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中 X

高校实验室一英寸真空高低温光电测试探针台

电信号接头 配线转接 BNC 接头 BNC 三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长 1.2 米 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA 探针数量 4 探针（可定做 6 探针） 探针材质 镀金钨针 探针尖 10μm 探针移动平台 X 轴移动行程 12mm ±6mm X 轴控制精度 ≤5μm Y 轴移动行程 12mm ±6mm Y 轴控制精度 ≤5μm Z 轴移动行程 12mm ±6mm Z 轴控制精度 ≤5μm 数码显微镜 显微镜类别 物镜放大+电子放大 显微镜放大倍数 100 倍 显微镜工作间距 50-150mm 相机分辨率 1080P 60 帧 相机信号输出 HDMI 输出+USB 输出 LED 可调光源 LED 光源 显示屏 5 寸 屏幕一体机