美国PMS颗粒仪

高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。

HPGP与大多数无毒气体兼容，可用于许多反应性气体监测应用中

PDS-E(粒子数据系统-以太网)收集和报告HPGP-101-C探测器捕获的数据。

优点

降低成本

· 工艺气体分配系统的速度限定

· 在影响产量之前测定气体中的颗粒。

· 与氧，氢和大多数无毒气体兼容

改进过程控制

· 验证气体质量

· 检测过程是否异常

· 量化系统变化的影响

· 准确的粒度

· 便利的网络数据管理软件，用于全面数据存储，管理，报告和警报

可靠性

· 被动腔式设计不需要经常维护

· 与其他系统不同，HPGP不需要监测流体

· 惰性气体吹扫，确保安全

· 如气体泄漏到安全舱，切断电源

功能

· 0.1 SCFM时具备0.1μm灵敏度

· 8个粒子通道

· 40-150 psig的线压

· 被动激光腔

· 并行处理阵列检测系统

· 安全舱

· 同时进行双重探测操作

· 氧气和氢兼容性

应用

· 气体分配系统的限定

· 过程气体监测

· 反应性气体监测

美国PMS颗粒仪

规格参数

如果您有需要可以打电话咨询我们，我们给您提供详细的产品介绍以及报价，价格受多种因素影响，下单前一定要询价哦，欢迎您的来电！

我们是日本大为在中国的兄弟公司，目前国内半导体设备的厂商都是我们的客户。

我们的产品包括反应器/半导体设备/气柜/化学品柜制造中的部件、焊接设备、切割设备、耗材、检测设备、流体元件、五金配件等。

上海利布迪公司经营的产品和品牌包含但不限于：

流体元件：

日本富士金FUJIKIN，美国Aptech，韩国Unilok，以色列哈姆雷特HAMLET，美国Presair压力开关，以及洁净系列不锈钢管道等。

压力温度：

美国PalmerWahl 圆盘压力温度记录仪及温度计系列产品, 日本冈崎OKAZAKI超低温温度计等；

工业材料：

日本预磨钨针，专业供应用于美国世伟洛克Swagelok，美国AMI，德国欧比泰姆Orbitalum，美国眼镜蛇MK等自动焊机；V+V不锈钢材料，铜合金材料，半导体耗材等；

制造与检测：

半导体设备及配件，进口自动焊机，日本ACCESS PFA焊接机，无毛刺切割机，日本Lasertec激光显微镜，美国SIGHTPIPE管焊缝光学检查内窥镜，美国鹰眼HAWKEYE内窥镜，日本奥林巴斯内窥镜，日本VCR限流垫片/孔板，英福康INFICON氦检仪等。