评价曲线等的曲线表示功能

除了显示演算结果之外，还可以显示按区间的演算结果和评价曲线、负荷曲线、振幅分布曲线

规格/型号

标准驱动型检出器 退避型 横向驱动型

型号：SJ-310(0.75mN型)SJ-310(4mN型)SJ-310(0.75mN型)SJ-310(4mN 型)SJ-310(0.75mN 型)SJ-310(4mN 型)

货号：178-570-01 178-570-02 178-572-01 178-572-02 178-574-01 178-574-02

测量范围 X 轴16.0 mm 5.6 mm

检出器 范围360 μm(-200 μm ～ +160 μm)

范围/ 分辨率360 μm / 0.02 μm |100 μm / 0.006 μm |25 μm / 0.002 μm

测量速度测量时： 0.25mm/s, 0.5mm/s, 0.75mm/s、返回时： 1mm/s

测力/ 测针形状货号末尾：为-01 时：0.75mN / 2μmR 60º、代码号末尾为 -02 时： 4mN / 5μmR 90º

导头压力400mN 以下

适应标准JIS '82/JIS '94/JIS '01/ISO '97/ANSI/VDA

测量曲线测量曲线面曲线、粗糙曲线、DF 曲线、粗糙MOTIF、波形MOTIF 曲线

评价参数Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax*1, Rp, Rv, R3z, Rsk, Rku, Rc, RPc, Rsm, Rz1max*2, S, HSC, RzJIS*3, Rppi, RΔa, RΔq, Rlr, Rmr,Rmr(c), Rδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa, λq, Lo, Rpm, tp*4, Htp*4, R, Rx, AR, W, AW, Wx, Wte 可定制

解析图表负荷曲线、振幅分布曲线

过滤器Gaussian, 2CR75, PC75

截止波长

λc 0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm

λs *5 2.5、8 μm

取样长度0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm

取样数×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,

任意(0.3 ～ 16.0mm ：0.01mm 间隔)

×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,

任意(0.3 ～ 5.6mm ：0.01mm 间隔)

液晶尺寸(显示区域) 117.8×88.2 mm