微量氧分析仪的原理主要有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法。要检测的氧气先通过一个小的毛细口传感器，然后通过一个疏水膜扩散进入，到达电极表面。传感器的结构设计保证会有适量的气体进入与感应电极反应产生足够的电信号，并同时防止电解液泄漏出传感器。通过疏水膜扩散进入传感器里的气体在感应电极发生氧化／还原反应，电极间连接一个电阻，这样，阴极和阳极间会产生一个与氧浓度成正比的电流。通过检测这个电流，就反应出气体中的氧浓度。

微量氧分析仪的原电池式传感器由两个金属电极、电解质、扩散透气膜和外壳组成，两个金属电极中Ａｇ为工作电极，Ｐｂ为对电极。传感器工作时氧气通过扩散气膜进入传感器，在工作电极上发生化学反应。同时，对电极上发生氧化反应。尤其适合于还原性气体和可燃性气体中微量氧浓度在线分析。

广泛应用于石油化工过程中的气体检测、空气分离、保护气氛炉工艺检测、气体生产制造检测、食品生产过程气体检测、惰性气体和碳氢化合物气体中的氧浓度检测等行业便携多点氧浓度检测。

整个量程内任意一点校准即可，无须多点校准，使得校准简单方便；数据自动存储功能，用户可随时本地查阅历史数据。