英福康INFICON 氦气检漏仪仪器

INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s，UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管。

英福康INFICON 氦气检漏仪仪器

15 级的宽测量范围

较短的抽气和响应时间

移动式全金属外壳，增加了便利性，具有很高可操作性

确保了在所有测量范围中提供快速的泄漏响应时间

抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果

含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气吸气能力和高压缩比

旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互

自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试

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含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本

内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果