INFICON英福康氦气检漏仪仪器

UL3000 Fab 有着当今市场上极快的泄漏检测速度，可提供的用户体验。

UL3000  Fab 专为满足半导体制造领域的专业要求而开发，如半导体和光电显示(包括子部件)的泄漏测试。

INFICON英福康氦气检漏仪仪器

易操作，分析和备份测量结果

■ 触摸显示可为用户提供直观指导

■ 现代的菜单结构

■ 可旋转的全彩色高分辨显示器

■ 用通过Wi-Fi 在移动设备上实现遥控

■ 数据存储能力

■ 用 U 盘输出数据(有访问控制)

快速的测量结果节省时间

I·CAL: 软件程序用于在10-9至10-12 毫巴 升/秒量程内的快速测量

HYDRO·S: 软件用于限制水汽本底使它能快速达到灵敏的测量范围 (UL3000 Fab PLUS)

I·ZERO 2.0: 智能的抑零功能用于当维持高测量灵敏度时的快速本底抑制

最小可检漏率：<5x10-12 毫巴 升 /秒

吸枪模式: 最小可检漏率，<5x10E-8 毫巴 升 /秒