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型号：OTF-1100X-15-III
产品概述：OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉，采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰（安装有不锈钢截止阀和机械压力表）。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制，可设置30段升降温曲线，带有超温和短偶保护，控温精度为+/-0.5 ºC。此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。
| 型号 | OTF-1100X-15-III |
| 炉体结构 | • 双层壳体结构，并带有风冷系统 • 采用氧化铝纤维作为炉膛材料 • 加热元件：SiC棒 • 设备中配有2个氧化铝管堵，以保证炉膛内部温度均匀性（炉体加热前，管堵必须塞入到炉管内部） • 此管式炉可作为退火或扩散管式炉（6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架装载） • 电动开启式设计，使得用户操作更加简便 结构图氧化铝管堵晶片装载电动开启 |
| 加热区 | • 总加热区长度1000mm • 三个加热区: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone) |
| 工作温度 | • 工作温度1100℃ • 加热速率：10℃/min • 加热元件：SiC棒（36根） |
| 温控系统 | 控温精度为+/-0.5℃ |
| 炉管 | • 15英寸高纯石英炉管：尺寸：400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L • 注意：石英炉管易碎，操作需谨慎 |
| 真空密封&法兰 | • 一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可使炉管内真空度达到10^-3torr（采用机械泵抽真空） • 左端法兰：安装有不锈钢针阀，Φ6.35的进气口 • 右端法兰：KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准） |
| 可选 | • 此管式炉需定期校准，以保证温度的准确性和均匀性，我们可提供简单的校准工具： ·1根1200mm的K型铠装热偶 ·1个Omega温度校准仪表 ·此型号管式炉只可选用机械泵，且真空度只能够抽到-0.05MPa，否则可能造成炉管损伤 ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架 • 可与手套箱系统联用，实现氧敏感性材料的烧结制备 |
| 电压 | • 三相380V，50/60 Hz |
| 额定功率 | • 20KW |
| 产品尺寸 | • 2300L x 1500W x 1400 H mm |
| 净重 | • 300kg |
| 质保期 | • 一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈） |
| 质量认证 | • CE认证 • 所有电器元件（输入电源大于24V）都通过了UL/MET/CSA |
