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产品型号：ATLEX-1000-I
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲，并在该领域保持技术地位。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品应用：
· 微机械加工
· 激光烧蚀
· 光谱学
· 计量学
产品参数：
| ATLEX-1000-I 产品参数 | |||
| 气体介质 | ArF | KrF | 单位 |
| 波长 | 193 | 248 | nm |
| 高压开关技术 | 固态开关 | | |
| 脉冲能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 8 | 10 | W |
| 重复频率 | 1000 | Hz | |
| 脉冲宽度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
| 光束发散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
| 能量稳定性（标准偏差） | < 3 | % | |
| 尺寸（长x宽x高） | 540 x 470 x 370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 冷却 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 电力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
