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产品型号：ATLEX-LR
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(Laser Ablation) 而设计；激光为193nm 输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品参数：
| ATLEX-LR产品参数 | ||
| 气体介质 | ArF | 单位 |
| 波长 | 193 | nm |
| 脉冲能量1 | 12 | mJ |
| 能量稳定选项输出 | 10 | mJ |
| 脉冲宽度2 | 5 | ns |
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm |
| 光束发散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad |
| 能量稳定性（标准偏差） | < 2 | % |
| 尺寸（长x宽x高） | 540 x 470 x 370 | mm |
| 重量 | 60 | kg |
| 冷却 | Air | |
| 电力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
