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nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种样品台，满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外，nanoEM还具有*的拓展空间，虽然作为台式设备，nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源，系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求，可升级成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。
主要特点： ◎ 能够达到学术研究级的多功能喷金仪 ◎ SEM托、TEM网、普通样品多种样品台可选 ◎ 可安装两个2英寸溅射源 ◎ 通用的溅射靶材 ◎ 本底真空<5×10-7 mbar ◎ 流量计精确控制生长气氛 ◎ 可调式DC溅射源，输出功率可达300W ◎ 全自动，引导式触屏控制 ◎ 完备的安全性设计 ◎ 易于维护 ◎ 兼容超净室 ◎ 稳定的性能表现
系统选件： ◎ 腔体视窗 ◎ 真空泵型号可选 ◎ 气压全自动控制系统 ◎ 溅射源挡板 ◎ 等离子体辉光电极 ◎ 样品台旋转与倾斜 ◎ 晶振膜厚监测系统 |
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