SEM扫描电镜电源 高稳定性35kV高压电源

用于扫描电子显微镜（SEM）的高可靠、高稳定性电源，具有内置灵活性，可适应各种肖特基发射电子枪配置。HiTek Power EG353系列标配Advanced Energy的直接驱动数字控制（D3C），通过直观的GUI实现广泛的操作和诊断功能。D3C在使用更小体积的同时提高了MTBF和可靠性。

产品亮点

低纹波和高稳定性电源，分辨率可达-1 nm

体积更小的模块或19英寸机架安装选项提供了安装灵活性

AE的直接驱动数字控制（D3C）技术实现了可靠性和性能

更高的效率、更一致的操作、对组件更改的低差异、更高的可靠性和更容易的测试

低纹波（<1.6ppm，加速器）和高稳定性（<10ppm，加速器）

可以增加额外的接地输出，以获得更大的灵活性

易于使用的数字控制和监控减少了设置和配置时间（光纤隔离RS-232）

可根据要求提供客户定义的衍生产品和连接选项

典型应用

使用具有LaB6或CeB6阴极的肖特基发射电子枪的SEM和电子显微镜

分辨率通常在>1到<20 nm之间的系统

输出电压

加速器：-30 kV，200μA（-35 kV用于调节）

提取器：+10 kV，400μA

抑制器：-1 kV，100μA

加热器：+5 V，3 A

输出功率

加速器：6 W

提取器：4 W

抑制器：0.1 W

加热器：15 W

温度系数

加速器：<25 ppm/ºC

提取器：<25 ppm/ºC

抑制器：<20 ppm/ºC

加热器：<100 ppm/ºC