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高低温真空探针台KT-Z160T-RL
高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。
为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。
高低温真空探针台KT-Z160T-RL参数
| 真空腔体 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 加热台材质 | 304不锈钢 |
| 内腔体尺寸 | φ160x90mm |
| 观察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加热台尺寸 | φ60mm |
| 观察窗热台间距 | 75mm |
| 加热台温度 | ﹣196~350℃ |
| 加热台温控误差 | ±1℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 | ≤0.1MPa |
| 真空抽气口 | KF25真空法兰 |
| 气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
| 电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 探针数量 | 4探针 |
| 探针材质 | 钨针 |
| 探针尖 | 10μm |
| 探针移动平台 | |
| X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
| X轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Z轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
| 电子显微镜 | |
| 显微镜类别 | 物镜 |
| 物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
| 工作间距 | 90mm |
| 相机 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 图像接口 | VGA |
| LED可调光源 | 有 |
| 显示屏 | 8寸 |
| 放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
