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济南市所在地
产品信息:
在实际的科研中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低得TDH系列探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,光学底座,探针座,四维调整系统,真空吸附系统;
TDH系列探针台包含有独立的三个精密探针座,可以配合数字源表等完成对三端器件的测试,其可以测试的材料有二极管、晶体管、场效应管、晶圆级器件等等,可以完成对其的I/V、c/v、电阻、电容等参数进行测试。
产品特点:
★结构紧凑,功能实用,质量轻巧,方便移动
★可用于12寸以内样品测试
★兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降
★漏电流精度:10pA/50fa(屏蔽箱内)
★精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,精密位移,无回程差设计
★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
★1微米以上电极/PAD使用
★模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块
产品应用:
◆LD/LED/PD的光强/波长测试(集成我司光电仪器)
◆材料/器件的IV/CV等特性分析测试
◆晶圆分析测试
技术参数选型:
规格/参数 | |||||||
型号 | TDH-4 | TDH-6 | TDH-8 | TDH-12 | |||
外形尺寸(LWH) | 450×300×355mm | 600×450×355mm | 600×500×355mm | 600×600×355mm | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | 整体XYZR四维位移,XY行程100mm,Z轴行程13mm,R轴360°旋转可锁紧 | ||||||
移动精度 | 3μm | ||||||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | |||
定制模块 | 可定制位移行程和精度 | ||||||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
机械精度 | 标配3μm(可以升级/1μm) | ||||||
漏电精度 | 100fA(配置屏蔽箱) | ||||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 三同轴(Triax) | ||||||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍(可升级到720倍) | |||||
CCD像素 | 2000W | ||||||
中心距离 | 140mm,升降范围270mm,总高度350mm | ||||||
显示器 | 12寸显示器,将3-17mm的样品放大到整个屏幕(可升级大尺寸显微镜) | ||||||
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | ||||
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源(测光电流) | |||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | |||||
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好的使用效果和性价比 |