TDH系列三端器件专用探针台FET测试TFT测试

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具体成交价以合同协议为准
2024-08-31 08:57:21
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济南创谱仪器有限公司

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产品简介

产品简介 :在实际的科研中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低得TDH系列探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,光学底座,探针座,四维调......

详细介绍

产品信息:
  
在实际的科研中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低得TDH系列探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,光学底座,探针座,四维调整系统,真空吸附系统;

  TDH系列探针台包含有独立的三个精密探针座,可以配合数字源表等完成对三端器件的测试,其可以测试的材料有二极管、晶体管、场效应管、晶圆级器件等等,可以完成对其的I/V、c/v、电阻、电容等参数进行测试。

产品特点:

★结构紧凑,功能实用,质量轻巧,方便移动

★可用于12寸以内样品测试

★兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降

★漏电流精度:10pA/50fa(屏蔽箱内)

★精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,精密位移,无回程差设计

★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

★1微米以上电极/PAD使用

★模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块

产品应用:

◆LD/LED/PD的光强/波长测试(集成我司光电仪器)

◆材料/器件的IV/CV等特性分析测试

◆晶圆分析测试

技术参数选型:

                                                              规格/参数

型号

TDH-4

TDH-6

TDH-8

TDH-12

外形尺寸(LWH)

450×300×355mm

600×450×355mm

600×500×355mm

600×600×355mm

电力需求

220VC,50-60HZ

样品台

尺寸

4寸

6寸

8寸

12寸

行程

整体XYZR四维位移,XY行程100mm,Z轴行程13mm,R轴360°旋转可锁紧

移动精度

3μm

背电极测试功能

可以引出电极

可以引出电极

可以引出电极

可以引出电极

定制模块

可定制位移行程和精度

探针调整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

机械精度

标配3μm(可以升级/1μm)

漏电精度

100fA(配置屏蔽箱)

安装方式

可调磁力吸附/真空吸附

接口形式

三同轴(Triax)

光学成像

放大倍数

7-200倍(可升级到720倍)

CCD像素

2000W

中心距离

140mm,升降范围270mm,总高度350mm

显示器

12寸显示器,将3-17mm的样品放大到整个屏幕(可升级大尺寸显微镜)

可选附件

加热卡盘

高低温卡盘

镀金卡盘

隔振支架

积分球测试选件

屏蔽箱

射频测试附件

导入光源支架

波长单色可调光纤光源(测光电流)

显微镜调节手动/电动调节装置

激光切割显微镜

转接头配件

创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好使用效果和性价比


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