CPZH10系列组合式探针台

CPZH10系列组合式探针台

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-09-06 08:02:07
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济南创谱仪器有限公司

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产品简介

产品简介 :在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调......

详细介绍

 在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;

主要技术指标:

★结构紧凑,功能实用,价格实惠

★可用于12寸以内样品测试

★兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降

★漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)

★精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计

★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

★1微米以上电极/PAD使用

★模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块

技术参数选型:

                                                              规格/参数

型号

CPZH10-4

CPZH10-6

CPZH10-8

CPZH10-12

电力需求

220VC,50-60HZ

样品台

尺寸

4寸

6寸

8寸

12寸

行程

XY行程50mm,Z轴升降60mm,360°旋转可锁紧

移动精度

标配10μm,可升级(5μm,3μm,1μm

背电极测试功能

可以引出电极

可以引出电极

可以引出电极

可以引出电极

定制模块

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

探针调整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

机械精度

标配10μm,可升级(5μm,3μm,1μm

漏电精度

10pA-100fA(配置屏蔽箱)

安装方式

直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附

接口形式

香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC

光学成像

放大倍数

7-200倍(可升级到720倍)

CCD像素

500W(可升级200W)

中心距离

140mm,升降范围270mm,总高度350mm

显示器

8寸显示器,将3-17mm的样品放大到整个屏幕(可升级大尺寸显微镜)

可选附件

加热卡盘

高低温卡盘

镀金卡盘

隔振支架

积分球测试选件

屏蔽箱

射频测试附件

导入光源支架

波长单色可调光纤光源(测光电流)

显微镜调节手动/电动调节装置

激光切割显微镜

转接头配件

创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比

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