质量流量控制器D07-11

质量流量控制器D07-11

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2024-06-30 09:03:32
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上海津能实业有限公司

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产品简介

商品说明D07-11质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量，*高耐压10MPa

详细介绍

商品说明

D07-11质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量，*高耐压10MPa。


特点

• 高耐压性
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 采用DB15型电插头，标准机械接头
• CE认证，兼容


D07-11质量流量控制器技术参数

项目

D07-11C

D07-11CM

D07-11E

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 .5% F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

线性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

±0.2 %F.S

响应时间

电特性: 10 sec
气特性: ≤ 4 sec

≤10 sec

电特性: 10 sec
气特性: ≤ 4 sec

大工作压力

10 MPa

-

1 MPa

气压降

-

＜ 0.02 MPa

-

工作压差范围

≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa
＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa

-

≤10SLM (0.1 ~ 0.5) MPa
＞10SLM (0.1 ~ 0.3) MPa

耐压

10 MPa

10 MPa

3 MPa

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

电源

+15 V  50 mA
-15V  200 mA

+15 V  50 mA
-15 V  50 mA

+15 V  50 mA
-15V  200 mA

重量

1.2kg

1 kg

1.2kg

 


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