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当今的高度依赖集成电路(IC),其广泛应用在智能家居、机器人、、汽车及航空航天的各种设备中。其中,整个IC的产业链是由上游的芯片设计、晶圆制造、晶圆出货测试、封装与成品测试所构成,从晶圆裸片到芯片产品,中间需要经过数百个高度复杂的制造步骤,因此工艺中的微小差异都会导致产品良率降低甚至元件失效。
半导体器件的良率基本取决于以下几个层面:由于材料和环境影响造成的缺陷、人为失误和设备故障、工艺差异与设计等。其中,工艺差异与设计,已经面临着巨额成本、低效开发的局面,这是每一个厂商都可能遇到的困难与挑战。另一方面,对于降低产品缺陷与失效去提升整体产线的良率,生产商逐渐重视如何有效地控制生产物料与环境中的痕量污染物,例如金属离子与颗粒物的污染,这对于晶圆良率的提升起着至关重要的作用。
广测作为的测试、检验和分析机构,在全国拥有配置齐全的物理与化学分析实验室,能够为整个IC制造产业链的质量控制提供可靠与稳健的测试分析解决方案。
■ 半导体可靠度实验室可提供检验芯片可靠度、器件失效分析、供应链DPA到汽车半导体AEC-Q等解决方案,助力客户全面提升产品的质量。
■ 化学痕量分析实验室能提供生产过程中使用的超纯水、化学品来料检验到无尘室环境分析服务。
广测半导体可靠度实验室及化学痕量分析实验室致力为您提供全面、专业的半导体物理测试和半导体化学测试。
一、半导体物理测试方案
1. 半导体供应链质量控制DPA
外观检查(光学显微镜) | X-ray 检查 | SAT 检查 |
SEM-EDS 电子显微镜 | IR Reflow 回流焊 | Pre-Condition Test/ MSL |
De-cap开封 | Cross-section 截面研磨 | P-lapping 分析 |
Dual beam FIB | WBS 绑线拉剪切力 | WBP 绑线拉力 |
加速环境应力试验 | 加速寿命模拟试验 | 封装完整性测试 |
电性验证测试 | 空腔封装完整性测试 | 无损分析 |
破坏性分析 | 故障定位分析 | ESD-HBM/MM/CDM |
Latch-up |
二、半导体化学测试方案
1. 制程环境控制
洁净室设计 / 建置 / 训练与顾问服务 | 洁净室效能测试(ISO 14644) |
空降分子污染(AMC)控制(SEMI F21) | 超纯水(UPW)检测 |
压缩干燥空气(CDA)检测(ISO 8573) |
电子级化学品检测 | 一般气体及电子级气体 |
无尘用品检测 | 晶圆盒 / 包装材料洁净度分析 |
硅片检测 / 晶圆表面污染分析 | 材质溶出试验(SEMI F57) |
设备动态颗粒度测试(ISO 14644-14) | 机台与部件洁净度 / 清洗确认 |
设备环境卫生安全基准(SEMI S2) |