EMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪

EMS 650/EMS 650TEMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-07-22 10:49:53
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海德创业（北京）生物科技有限公司

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产品简介

EMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪

详细介绍

 

又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪，EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，*的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得精确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。下图示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。

性能特征：
 
仪器参数：
 

仪器尺寸：
450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）
工作腔室
硼硅酸盐玻璃: 225mm（Dia.） x 125mm（H）
重量：
24Kg
靶台：
3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
旋转样品台：
155mm Dia. 距离靶台40 to 50mm可调
真空范围：
ATM ­1x10-2 mbar
镀膜电流范围：
0-100mA
镀膜速率：
0-20nm/minute
溅射镀膜时间：
0-4 minutes
电源：
230 volts 50Hz （zui大8 amp 包括泵）
维护：
氩气 ­ 通常 4 psi
真空泵（*）
整套真空泵软管和油气过滤器135L/Min

 
订购信息:
 

货号
产品名称
规格
91020
EMS 650 Sputter Coater complete with Targets
（3） x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard
台
91020T
EMS 650T Sputter Coater
台
91025
Rotary Vacuum Pump

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