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规格 | 中心高 | 测量直径 | 精度 | |
平行方向μm | 垂直方向μm | |||
300 | 100 | ≤140 | ≤8 | ≤5 |
300 | 170 | ≤270 | ≤8 | ≤5 |
500 | 170 | ≤270 | ≤8 | ≤5 |
500 | 250 | ≤400 | ≤8 | ≤5 |