Ø 移动范围: X 轴驱动部: 100mm，电动立柱（垂直方向）: 250mm

Ø Z 轴测量范围:1000μm（粗糙度时）、50mm（轮廓度时）

Ø 直 线 度:粗糙度时（0.05+1.0L/1000）μm ,L:测量长度 （mm）轮廓度时1μm/100μm

Ø 测量精度（轮廓）: Z 轴（垂直方向）指示精度 ±（1.8+│2H│/100）μm Z 轴分辨率 0.1μm/50mm，X 轴（横方指示精度±（1+2L/100）μm ,L=测量长度（mm），粗糙度精度:X 轴分辨率0.1μm

Ø 粗糙度解析项目:测量参数 （JIS ,ISO,DIN,ASME,CNOMO 等标准）评价曲线 （断面曲线,粗度曲线,波纹度曲线等）、特性图形 （负荷曲线,振幅分布曲线等）

Ø 记录倍率: 纵倍率（粗糙度用） 50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自动横倍率（粗糙度用）50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自动纵倍率（轮廓用） 0.01～10,000,000 倍（任意,自动可）横倍率（轮廓用） 0.01～10,00,000 倍（任意,自动可）

Ø 滤波种类:标准型滤波（2CR）,位相补偿滤波（2CR）,高斯滤波.

Ø 取样长度:0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm（7 种）及任意.

Ø 驱动速度:粗糙度0.03～3mm/s ;波纹度 0.03～20mm/s

Ø 传感器: 差动变压式原理和光栅尺