FFU产品参数标准主分为；噪音(dBA)，功耗(W)，振动(mm/s)，寿命(hours)尺寸(mm)，面风速(m/s)，机外余压(Pa)，

1滤网－应不同制程需求，常用到H13,H14,U15和U16甚至U17的过滤器(欧规)，有时应生产工艺的需求会要求采用低硼的材料，以进口品居多。

2马达－AC(交流电)和DC(直流电)两种。一般来讲Class 1000~100,000的洁净室常用AC FFU，而洁净度较高区域则用DC 。就是因为高等级洁净室对于温湿度要求更为严格，采有DC 就能应用软件控制，精确度较高。对于的控制系统在下面另阐述。

3振动－一般是符合德规G2.5标准，因为微振动的控制对于生产工艺非常重要。

4噪音－一般设定为54dB(A)@1.5m，即距过滤器下表面1.5m处噪音值小于54dB(A)。 的声压级噪声大多在57dB(A)～59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。

5绝缘等级－一般为Class E,B或F。

6轴承寿命－一般为L10≧40,000hours,即10%的轴承损坏的zui大使用时间不小于40,000hours。

7能效比－耗电量与风量的比值，级效比值越低越节能

8尺寸－目前，国内、外常用的模数有1200X600mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mm。

9材质－根据使用环境及成本选择，目前常用镀铝锌材质，能满足洁净室的环境需求(防腐蚀)且成本低；

10风量或风速－根据换气量及尺寸换算出面风速，一般范围在0.3~0.45m/s；

11静压－根据过滤器规格及风道的结构阻力。的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。当高效过滤器为初阻力，且保证送风断面风速为0.35m/s时，不同的机外余压均在100Pa左右，有的高达130Pa。