进水水源

蒸馏水、纯净水、去离子水　水温1－45℃　TDS﹤5ppm   电导率﹤10μs/cm　 TOC﹤30ppb

出水水质

超纯水电导率≤0.055μs/cm@25℃；电阻率： 18.25MΩ. cm@25℃

微粒子（大于0.05μm）含量：＜1/ml　　　热源含量：＜0.001Eu/ml

微生物含量：＜1cfu/ml　　　　　　　　　 总有机碳量TOC：＜5ppb

金属阳离子含量（单位PPb）：

Fe铁＜0.005   Cu铜 ＜0.005   Al铝 ＜0.005   Ni镍 ＜0.005  

Zn锌 ＜0.02   Cr铬 ＜0.005   Na钠 ＜0.01    K钾 ＜0.02

阴离子含量单位PPb:

Ci^-氯 ＜0.01  NO₂^-亚硝酸根 ＜0.02  NO₃^-硝酸根 ＜0.02   So₄^2-硫酸根 ＜0.01

制水量

40-90L

瞬间取水量

1.5L/min

在线监测

配备在线电导率监测仪

储水桶配置

配20升进口真空压力桶（有NSF认证）

纯化柱配制

配备5通道纯化柱过滤

电源

220V/50HZ　

功率

30W

UF超滤配置

孔径0.05μm

主机体积

长410mm×宽345mm×高440mm

重　　量

28kg