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装置性能
| 产品型号 | 真空泵速率（L/s） | 极限真空 （pa） | 抽真空时间（s） | |||||
| 170L | 340L | 680L | 1360L | 2700L | 5400L | |||
| SG2085 | 85 | ≤5*10-2 | 2 | 4 | 12 | 20 | 40 | 80 |
n 外型：90cm×65cm×1200cm（长×宽×高）
n 重量：350Kg 左右
n 工作电压：380~460V 50Hz交流电
n 噪音水平：<78dB（A）
装置基本配置：
| 编号 | 名称 | 型号 | 数量 |
| 1 | 前级真空泵二级罗兹泵* | 额定速率85L/S，zui终真空度<0.06pa | 各1 |
| 2 | 管道 | DN30,螺纹不锈钢波纹管 | 2 |
| 3 | 球阀、电磁阀 | 316 . GU型真空球阀，DDC真空电磁阀 | 4 |
| 4 | 连接槽件 | DN30型，用于连接SF6气体回充装置 | 1 |
| 5 | 管道 |
| 2 |
| 6 | 真空隔膜阀 |
|
|
| 7 | 真空表 | 数显 | 1 |
| 8 | 连接槽件 |
| 1 |
| 9 | 连接插件 |
| 1 |
| 10 | 软管 | 长度5m，憎水材料组成 | 2 |
| 11 | 连接插件 | 可选配各种类型的电器设备接口 |
