日本新宇宙半导体材料气体检测仪XPS-7Ⅱ

检测对象：du气/半导体材料气体
检测范围：根据规格而定
检测原理：定电位电解式
检测方式：自动吸引式
应用行业：石油化工、半导体制造

产品描述：半导体材料气体检测

01.产品特点

●  只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体

●  用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正

●  可以大幅度削减成本和维护时间

02.产品用途

●  半导体工厂/石油化学工厂等

●  在使用半导体材料气体/du性气体的现场进行泄漏检测

03.对象气体

04.产品参数

1.根据气体种类不同，满量程也会略有不同。

2.同一测量条件下。

3.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家，有时会有不同。

4.搭载NF3传感器组件时为8小时。

5.AC转接器、数据记录收集套装、以及传感器通电台不属于CE范围。

XPS-7Ⅱ日本新宇宙半导体材料气体检测仪