8865SC13型美国bird精密射频负载13.56 MHz 超稳定油电介质射频终端为了最大限度地提高工艺的可重复性和一致性，现代等离子应用需要精确的射频功率调节和控制。确保向腔体准确且可重复地输送射频功率的关键要素是校准、调节和监控射频发生器。Bird 现在提供超稳定、低 VSWR 负载，当与精密功率传感器（如 Bird 4020 系列）一起使用时，可快速精确地测量发生器功率输出。8865SC13 不仅提供低 VSWR，而且在工艺关键频率下 VSWR 的总变化小于 0.1 dB。无需预热负载，也不存在因不同时间长度的校准而导致的可重复性风险。这可以最大限度地减少与此校准相关的错误，并控制更关键的工艺变量之一。东莞广联原厂代购美国bird精密射频负载

   8865SC13型美国bird精密射频负载参数：

额定功率1 千瓦频率范围和 VSWRDC 至 28 MHz @ 1.1 最大

VSWR 小于 1.05:1阻抗Ω50（标称）驻波比稳定性< 0.1 dB，稳定频率下 0 至 100% 额定功率稳定频率13.56兆赫±10千赫连接器“QC” 型 LC（母）- 通常供应联锁温控开关 - 可选常闭。236 °C (457 °F) 时打开热敏开关额定值115 伏交流电，10 安

230 伏交流电，5 安温度范围工作温度： +5 至 +40 °C (+41 至 +104 °F)

存储温度： -40 至 +45 °C (-40 至 +113 °F)高度1520 米（5000 英尺）湿度最大 95% 非冷凝。冷却方式油介电体和对流电流方面19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸

496 x 184 x 334 毫米重量32 磅

14.5 公斤结束黑色环氧树脂

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