BDS2美国Bird传感器使用复杂的并行信号处理,同时测量和报告多个基波、谐波和互调频率下的电压、电流和相位角。美国Bird传感器原厂直销。
强大的频率跟踪算法可保证动态信号条件下的精确测量。利用这些数据,可以计算每个频率下的功率和阻抗,使用户能够识别可能导致过程成功与失败的微小差异。
可选的时域模式可以在非 50 欧姆环境中清晰地显示脉冲射频波形的形状。与示波器类似,BDS2 将显示脉冲包络的一次性触发视图。然而,BDS2 的之处在于,它可以按照系统的精度显示电压、电流、相位、功率或阻抗波形。
产品特点
使用锁定系统精确测量 1% 的射频电压和电流
计算阻抗、射频功率
多电平脉冲或 CW 波形
1-3个基频
每个基频 4 个谐波
每个基本对 6 个互调产物
时域模式
跟踪和光谱搜索模式
以太网启用
应用领域
腔室与腔室匹配
射频过程监控
阻抗匹配
射频传输系统故障排除
识别流程偏差
可分析高达 252 MHz 的谐波电平
电压、电流、相位和输出功率比较
系统组件 - 解锁系统
接收器: 7001A900-2,BDS2 单通道。带以太网
校准数据电缆的接收器: 7001B040-5M,射频/数据电缆套件 5 M 直型
传感器选项
(请联系工厂以获取定制设计的传感器和定制频率组合)
7001A550-1-xx yy,传感器,BDS2,QC 连接器
(选择xx yy 上面连接选项表中的选项)
7001A550-2,传感器,BDS2,突出电介质连接
系统套件 - 锁定系统
7001A500-1-xxyy,BDS2 套件(接收器、电缆和传感器套件),QC 连接器
(从上面的连接选项表中选择 xx yy 选项)
7001A500-1-2,BDS2 套件(接收器、电缆和传感器套件),突出电介质联系
时域测量选项
7001A993-1,工厂安装许可证
7001A993F-1,现场安装许可证
时域测量模式
时间分辨率: 500 ns
可配置时间范围: 0.1 至 10 ms
平均:迹线平均
触发
电压或电流波形
上升沿或下降沿
外部触发
上/下阈值
释抑 触发
前和触发后缓冲器: 5% 至 95%
测量
用户选择的频率下的电压、电流、相位、频率、阻抗、功率
频率
范围: 307 kHz - 252 MHz(取决于传感器)
分辨率: 100 Hz
精度: ± 1 kHz
基础知识数量
最多同时 3 个。对于 1 个以上基波,请从以下选项中进行选择
(或联系工厂了解定制组合):
- 0.4、13.56、160 MHz
-
0.4、60 MHz
- 1、13.56 MHz - 2、27.12、60 MHz
- 3.2、40.68 MHz
- 3.2、60兆赫
- 12.88、40.68兆赫
- 13.56、100兆赫
追踪
频率转换速率: 2 GHz/秒
最小脉冲宽度: 5 µs
谐波次数
每个基波 4 个谐波
每对基波 6 个互调产物,最高 252 MHz
受最大测量通道数
限制 跟踪和频谱搜索模式
12 个谐波标准模式
6 个时域模式
最大射频功率
由 RF 传感器确定(通常为 10kW 或更高)
接收者
温度
工作: 20 至 40 °C(68 至 104 °F)
存储: -20 至 80 °C(-4 至 176 °F)
电缆
温度
工作: 0 至 100 °C(32 至 212 °F)
存储: -20 至 100 °C(-4 至 212 °F)
空气压力
745 mbar(相当于 2,500 m/8,200 英尺最大海拔)
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