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半导体封装工艺中会用到引线框架,引线框架作为半导体芯片载体,其材料中主要是铜等易氧化的元素,铜在高温的环境中极易生成CuO.在后道的回流焊中会发生断层,断裂的现象。
所以引线框架封装需要在厌氧的环境中烘烤,固化。
由于一些特殊的场合,需要真空环境,所以,本公司推出真空环境下的真空无氧烘箱。
厌氧烘箱需要在充氮环境里进行加热加温,所以,又称为:厌氧充氮烘箱
半导体封装工艺中会用到引线框架,引线框架作为半导体芯片载体,其材料中主要是铜等易氧化的元素,铜在高温的环境中极易生成CuO.在后道的回流焊中会发生断层,断裂的现象。
所以引线框架封装需要在厌氧的环境中烘烤,固化。
由于一些特殊的场合,需要真空环境,所以,本公司推出真空环境下的厌氧烘箱。
厌氧烘箱需要在充氮环境里进行加热加温,所以,又称为:厌氧充氮烘箱
一、真空厌氧烘箱基本功能
上料→抽真空→常温升温→达到设定温度(超温会报警)→保持恒温并开始计时→时间到后停止加热并报警→自动降温→下料。
二、真空无氧烘箱主要技术参数
序号 | 项目 | 具体指标 | 备注 |
1 | 机器尺寸 | 1080mm(D)*890mm(W)*1710mm(H) | |
2 | 内箱尺寸 | 500mm(D)*500mm(W)*980mm(H) | |
3 | 温度范围 | 至少室温+20℃~+350℃可调 | |
5 | 升温速率 | 3-5℃/min | |
6 | 进气量 | 协商 | |
7 | 含氧量 | 协商 | |
8 | 温度控制器显示精度 | 0.1 | |
9 | 抽气 | 协商 | |
10 | 温度波动度 | ±1℃ | |
真空度 | 协商 | ||
11 | 控温仪表 | 7寸触摸屏 | |
12 | 降温方式 | 水冷 | |
13 | 温度均匀度 | ≤±2.0%℃ (空载) | |
14 | 气体 | 可充氮气或压缩空气 | |
15 | 控制回路保护 | 短路及过载保护 | |
16 | 循环风方式 | 水平循环运风 |
三、半导体烘箱基本要求
1、电源:380V/220V,50Hz~60Hz,配有相序保护器,结构件接地保护。
2、氮气要求:0.4-0.6MPa,自带分级过滤器。
四、设备控制系统
1、采用 PID 自动计算输出功率的大小;越接近温度设定值时,输出功率越小,以达到恒温控制的目的,并可节能省电。
2、当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能。
3、定时分为 2 档(手动/自动):选择手动时为立即开始计时;选择自动时为温度必须达。到设定温度值时才开始计时,时间到达到后有声光报警并自动停机。
4、升温降温:仪表程式编辑控制,温度范围可设置,降温、升温、恒定、时间。
5、内烘箱:表面平整,不可有漏气现象。
6、外壳温度:室温150℃以内,外壳温度不高于室温+20℃,接缝处除外。
7、外部材料:采用冷轧钢板表面静电喷塑处理、板材厚度为1.2mm;
8、保温材料:具有不可燃烧,隔热性强,采用玻璃纤维保温棉、 六面保温。
9、密封条采用硅胶胶条制作,可耐温不变形。
10、内胆材料:304不锈钢板、厚度为5mm、胆内清洁、防生锈、耐腐蚀。
11、每个箱体配有3个栅栏式层架。
12、门与内胆采用双层密封形式,加强密封效果。
13、温控器采用PV和SV显示功能,自带 PID 自动整定演算输出,控制精准。
14、时间控制采用 LED 数显时控器,可设置时间为 99 小,单位可以任意切换为小时、分钟、秒。
15、超温保护温控器采用宇电能型温控器,PV 与 SV 双 LED 显示功能,当温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源。
16、箱体侧面设有排气。
17、结构件安全接地保护。
18、配带蜂鸣器的报警灯。
19、加热管控制采用阳明 SSR 固态继电器控制每组发热管。
20、可调节气体流量,使炉内温度更加均匀。
21、控制程序制作简单。
22、设有进氮气口,配电磁阀控制,每组流量计可手动调整充气流量、并可自动控制流量计开启数量。
23、打开电源开关后,机器自检,正常时指示灯塔显示绿灯,如果出现异常,指示灯塔显示红灯。
24、配有 USB 接口,带有数据导出功能、温控曲线监测。
25、故障诊断简单。
五、设备工作环境
1、环境温度:10~40℃;
2、环境湿度:10%~85%RH。
六、无氧烘箱装配要求
1、走线整齐、方便、美观、与设备连线越短越好、中间接头连接牢固、且不妨碍今后维工作。
2、所有设备预留设备接地位置。
由于真空厌氧烘箱制作工艺复杂,本网站所发布资料仅供参考,具体技术要求请来电来函我司详谈。